主分類
A 農(nóng)業(yè)
B 作業(yè);運輸
C 化學;冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
B 作業(yè);運輸
B81 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)
B81C 專門適用于制造或處理微觀結(jié)構(gòu)的裝置或系統(tǒng)的方法或設(shè)備
B81C1-00 在基片內(nèi)或其上制造或處理的裝置或系統(tǒng)
B81C3-00 從單獨處理過的部件組裝裝置或系統(tǒng)
B81C5-00 .(轉(zhuǎn)入B81C 99/00)
B81C99-00 本小類其他各組中不包括的技術(shù)主題

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