主分類(lèi)
A 農(nóng)業(yè)
B 作業(yè)；運(yùn)輸
C 化學(xué)；冶金
D 紡織；造紙
E 固定建筑物
F 機(jī)械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學(xué)
分類(lèi)號(hào) 描述
G 物理
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其專(zhuān)門(mén)適用于此的容器；其制備
G03F1-68 .未包含在G03F 1/20至G03F 1/50組中的制備工藝
G03F1-72 ..掩膜缺陷的修復(fù)或校正
G03F1-74 ...通過(guò)帶電粒束[CPB]，例如聚焦離子束

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