主分類
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G 物理
H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-06 ...器件中的半導(dǎo)體所含有的硒或碲以游離態(tài)存在,而不是其他材料在半導(dǎo)體中的雜質(zhì)
H01L21-10 ....硒或碲的預(yù)處理及其在基板上的應(yīng)用,或其組合的后繼處理
H01L21-103 .....硒或碲導(dǎo)電態(tài)的轉(zhuǎn)換
H01L21-105 .....硒或碲轉(zhuǎn)換為導(dǎo)電層后的表面處理
H01L21-108 .....分立絕緣層的制備,即非生長阻擋層

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