主分類
A 農(nóng)業(yè)
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G 物理
H 電學(xué)
分類號(hào) 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個(gè)躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構(gòu)成的半導(dǎo)體，如摻雜材料
H01L21-20 ....半導(dǎo)體材料在基片上的沉積，例如外延生長(zhǎng)
H01L21-22 ....雜質(zhì)材料的擴(kuò)散，例如在半導(dǎo)體或半導(dǎo)體的交界區(qū)摻入或析出摻雜材料，電極材料；雜質(zhì)材料的再分配，例如，不引入或去除過(guò)多的摻雜劑
H01L21-24 ....雜質(zhì)材料
H01L21-26 ....用波或粒子輻射轟擊的
H01L21-28 ....用H01L 21/20至H01L 21/268各組不包含的方法或設(shè)備在半導(dǎo)體材料上制造電極的
H01L21-30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設(shè)備處理半導(dǎo)體材料的
H01L21-328 ....制造雙極型器件，例如二極管、晶體管、晶閘管的臺(tái)階式工藝
H01L21-334 ....制造單極型器件的臺(tái)階式工藝

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