主分類
A 農(nóng)業(yè)
B 作業(yè);運(yùn)輸
C 化學(xué);冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機(jī)械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學(xué)
分類號 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構(gòu)成的半導(dǎo)體,如摻雜材料
H01L21-22 ....雜質(zhì)材料的擴(kuò)散,例如在半導(dǎo)體或半導(dǎo)體的交界區(qū)摻入或析出摻雜材料,電極材料;雜質(zhì)材料的再分配,例如,不引入或去除過多的摻雜劑
H01L21-223 .....應(yīng)用從氣相向固體或從固體向氣相的擴(kuò)散法
H01L21-225 .....應(yīng)用從固相向固體或從固體向固相的擴(kuò)散法,例如摻雜氧化層
H01L21-228 .....應(yīng)用從液相向固體或從固體向液相的擴(kuò)散法,例如合金擴(kuò)散工藝方法

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