主分類
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H 電學(xué)
分類號 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構(gòu)成的半導(dǎo)體，如摻雜材料
H01L21-30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設(shè)備處理半導(dǎo)體材料的
H01L21-301 .....把半導(dǎo)體再細分成分離部分，例如分隔
H01L21-302 .....改變半導(dǎo)體材料的表面物理特性或形狀的，例如腐蝕、拋光、切割
H01L21-31 .....在半導(dǎo)體材料上形成絕緣層的，例如用于掩膜的或應(yīng)用光刻技術(shù)的
H01L21-322 .....改善其內(nèi)部性能的，例如產(chǎn)生內(nèi)部缺陷
H01L21-324 .....用于改善半導(dǎo)體材料性能的熱處理，例如退火、燒結(jié)
H01L21-326 .....電流或電場的應(yīng)用，例如用于電鑄成型的

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