主分類
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G 物理
H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件，例如PN結、耗盡層、載體集結層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構成的半導體，如摻雜材料
H01L21-30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設備處理半導體材料的
H01L21-302 .....改變半導體材料的表面物理特性或形狀的，例如腐蝕、拋光、切割
H01L21-304 ......機械處理，例如研磨、拋光、切割
H01L21-306 ......化學或電處理，例如電解腐蝕

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