主分類
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B 作業(yè)；運(yùn)輸
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D 紡織；造紙
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F 機(jī)械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學(xué)
分類號 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構(gòu)成的半導(dǎo)體，如摻雜材料
H01L21-30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設(shè)備處理半導(dǎo)體材料的
H01L21-302 .....改變半導(dǎo)體材料的表面物理特性或形狀的，例如腐蝕、拋光、切割
H01L21-306 ......化學(xué)或電處理，例如電解腐蝕
H01L21-3063 .......電解腐蝕
H01L21-3065 .......等離子腐蝕；活性離子腐蝕
H01L21-308 ....... 應(yīng)用掩膜的

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