主分類
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G 物理
H 電學(xué)
分類號(hào) 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個(gè)躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-34 ...具有H01L 21/06，H01L 21/16及H01L 21/18各組不包含的或有或無(wú)雜質(zhì)，例如摻雜材料的半導(dǎo)體的器件
H01L21-36 ....半導(dǎo)體材料在基片上的沉積，例如外延生長(zhǎng)
H01L21-38 ....雜質(zhì)材料的擴(kuò)散，例如在半導(dǎo)體或半導(dǎo)體的交界區(qū)摻入或析出摻雜材料、電極材料
H01L21-40 ....雜質(zhì)材料，例如摻雜材料，電極材料與半導(dǎo)體的合金
H01L21-42 ....用輻射轟擊的
H01L21-44 ....用H01L 21/36至H01L 21/428各組不包含的方法或設(shè)備在半導(dǎo)體材料上制造電極的
H01L21-46 ....用H01L 21/36至H01L 21/428各組不包含的方法或設(shè)備處理半導(dǎo)體材料的

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