主分類
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H 電學(xué)
分類號 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-34 ...具有H01L 21/06，H01L 21/16及H01L 21/18各組不包含的或有或無雜質(zhì)，例如摻雜材料的半導(dǎo)體的器件
H01L21-36 ....半導(dǎo)體材料在基片上的沉積，例如外延生長
H01L21-363 .....應(yīng)用物理沉積，例如真空沉積、濺射
H01L21-365 .....應(yīng)用氣態(tài)化合物的還原或分解產(chǎn)生固態(tài)凝結(jié)物的，即化學(xué)沉積
H01L21-368 .....應(yīng)用液體沉積的

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