主分類
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B 作業(yè);運輸
C 化學;冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層
H01L21-34 ...具有H01L 21/06,H01L 21/16及H01L 21/18各組不包含的或有或無雜質(zhì),例如摻雜材料的半導體的器件
H01L21-42 ....用輻射轟擊的
H01L21-423 .....帶有高能輻射的
H01L21-425 ......產(chǎn)生離子注入的
H01L21-426 ....... 應用掩膜的

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