主分類
A 農(nóng)業(yè)
B 作業(yè);運(yùn)輸
C 化學(xué);冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機(jī)械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學(xué)
分類號(hào) 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-673 ..使用專用的載體的
H01L21-677 ..用于傳送的,例如在不同的工作站之間
H01L21-68 ..用于定位、定向或?qū)?zhǔn)的
H01L21-683 ..用于支承或夾緊的

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