主分類
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B 作業(yè)；運(yùn)輸
C 化學(xué)；冶金
D 紡織；造紙
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F 機(jī)械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學(xué)
分類號(hào) 描述
H 電學(xué)
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L21-77 ..在公共襯底中或上面形成的由許多固態(tài)元件或集成電路組成的器件的制造或處理
H01L21-78 ...把襯底連續(xù)地分成多個(gè)獨(dú)立的器件
H01L21-82 ....制造器件，例如每一個(gè)由許多元件組成的集成電路
H01L21-822 .....襯底是采用硅工藝的半導(dǎo)體的
H01L21-8252 .....襯底是半導(dǎo)體的，采用Ⅲ-Ⅴ族工藝
H01L21-8254 .....襯底是半導(dǎo)體的，采用Ⅱ-Ⅵ族工藝
H01L21-8256 .....襯底是半導(dǎo)體的，采用H01L 21/822，H01L 21/ 8252或H01L 21/8254組中不包含的工藝
H01L21-8258 .....襯底是半導(dǎo)體的，采用H01L 21/822，H01L 21/8252，H01L 21/8254或H01L 21/8256包含工藝的組合
H01L21-84 .....襯底不是半導(dǎo)體的，例如絕緣體

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