[发明专利]一种能谱仪有效
申请号: | 201810218554.7 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108345027B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 孙奥;王静;张文海;尚万里;侯立飞;杜华冰;杨国洪;车兴森;韦敏习;杨轶濛;易涛 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G01T1/36 | 分类号: | G01T1/36 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 曾章沐 |
地址: | 621000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种能谱仪,涉及粒子能谱诊断技术领域。能谱仪应用于高能离子、电子和重离子的能谱测量,能谱仪包括准直组件、磁场产生组件、电场产生组件和照相组件;准直组件包括承托面板以及安装在承托面板上的准直板,准直板上开设有准直孔;磁场产生组件包括磁轭和安装在磁轭上的磁体;电场产生组件可相对准直组件滑动,电场产生组件包括相对设置的平行电极板和异形电极板,异形电极板包括相连的平行部和楔形部,平行部与平行电极板平行,楔形部相对平行部向远离平行电极板的方向倾斜预设角度;照相组件对应磁场产生组件和电场产生组件安装。该能谱仪能够同时进行电子与离子的能谱测量,也能够对重离子实现分离并进行能谱测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 能谱仪 | ||
【主权项】:
1.一种能谱仪,应用于高能离子、电子和重离子的能谱测量,其特征在于,所述能谱仪包括准直组件(10)、磁场产生组件(20)、电场产生组件(30)和照相组件(40);所述准直组件(10)包括承托面板(13)以及安装在所述承托面板(13)上的准直板(14),所述准直板(14)上开设有准直孔;所述磁场产生组件(20)包括磁轭(21)和安装在所述磁轭(21)上的磁体(22);所述电场产生组件(30)可相对所述准直组件(10)滑动,所述电场产生组件(30)包括相对设置的平行电极板(31)和异形电极板(32),所述异形电极板(32)包括相连的平行部(321)和楔形部(322),所述平行部(321)与所述平行电极板(31)平行,所述楔形部(322)相对所述平行部(321)向远离所述平行电极板(31)的方向倾斜预设角度;所述照相组件(40)对应所述磁场产生组件(20)和所述电场产生组件(30)安装。
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