[发明专利]极化设备有效

专利信息
申请号: 202010085101.9 申请日: 2020-02-10
公开(公告)号: CN112838159B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 李志勇;陈安禄 申请(专利权)人: 馗鼎奈米科技股份有限公司
主分类号: H10N30/045 分类号: H10N30/045
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾台南市永康区亚*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件,其中工件包含压电材料薄膜,且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方,且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极,其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源,第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极,其中第三极电性连接电网,第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆,因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题,而可提升极化的均匀度。
搜索关键词: 极化 设备
【主权项】:
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