[发明专利]一种具有电磁屏蔽功能的高透光柔性锰铜计有效
| 申请号： | 202110135812.7 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112945446B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张国栋;赵玉龙;孙警;韦学勇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L5/14 | 分类号： | G01L5/14;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种具有电磁屏蔽功能的高透光柔性锰铜计，包括基底,基底上设有敏感元件和电极，敏感元件的输入端和输出端分别连接两个电极，敏感元件和电极的表面上设有封装层；敏感元件采用锰铜箔制成，厚度为5μm；电极与敏感元件为一体式结构且由同一锰铜箔通过激光雕刻或化学腐蚀工艺制成；基底和封装层均为三明治结构：中间层为25μm厚的PI/纳米银线复合薄膜，上层和下层是1μm厚的陶瓷薄膜，通过MEMS溅射工艺形成于中间层表面；基底、封装层、电极以及敏感元件通过热压封装工艺形成锰铜计；本发明能够屏蔽电磁辐射干扰且可避免高压旁路效应，具有耐高温、高透光性、响应快、柔性化、薄膜化以及适用于微尺度装药爆压测量等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 电磁 屏蔽 功能 透光 柔性 锰铜计 | ||
【主权项】：
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