[发明专利]形成金属遮罩的方法与金属遮罩有效
| 申请号： | 202111305835.4 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114107893B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨芸佩;林仁顺;张郁伟 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种形成金属遮罩的方法包括接收金属平面基板以及图案化金属平面基板。金属平面基板包括第一表面以及相对于第一表面的第二表面。图案化金属平面基板包括形成多个条状结构、形成通孔以及形成盲孔。通孔连通第一表面和第二表面，并隔开相邻的条状结构。盲孔自第一表面凹陷并横跨条状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 金属 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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