[发明专利]一种从铜化学机械抛光的废料流中回收水和铜的方法在审
| 申请号： | 202210343290.4 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116926327A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杜鹏;段铃丽;朱志亮 | 申请（专利权）人： | 杜邦电子公司;罗门哈斯电子材料（东莞）有限公司上海分公司;罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B15/00;C22B1/02;C25D3/38;C02F1/04;C02F11/13;C02F103/16;H05K3/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 谭邦会 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种从铜化学机械抛光(Cu‑CMP)的废料流中回收水和铜的方法。所述废料流中的水通过蒸馏被回收，并且铜通过硫酸处理经烧结固体被回收。本发明所述方法提供了至少80％的水回收率和至少80％的铜回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 废料 回收 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杜邦电子公司;罗门哈斯电子材料（东莞）有限公司上海分公司;罗门哈斯电子材料有限公司，未经杜邦电子公司;罗门哈斯电子材料（东莞）有限公司上海分公司;罗门哈斯电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210343290.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：驱动电路和显示设备
- 下一篇：充电方法、装置、电子设备和存储介质
