[发明专利]一种微机电系统麦克风及电子设备在审
| 申请号： | 202210344630.5 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN116939455A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 吴秀娥 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开实施例公开了一种微机电系统麦克风及电子设备。该微机电系统麦克风包括衬底、振膜和背极板。背极板上形成有支撑结构，背极板包括第一背极区和第二背极区，第一背极区与第二背极区连接至不同的电极。本公开实施例的一个技术效果在于，通过创造性地利用支撑结构划分背极板为第一背极区和第二背极区，且第一背极区与第二背极区连接至不同的电极。以在不增加其余结构的情况下形成差分电容器，提高麦克风产品整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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