[发明专利]一种伺服调整系统在审
| 申请号： | 202210373812.5 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116931380A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 郑耀青;邱会峰 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司;北京优微精密测控技术研究有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 贾晓敏 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种伺服调整系统，涉及半导体制造设备领域。该伺服调整系统，包括自下而上依次设置的基板、旋转动板和升降动板，基板上设置有旋转伺服机构，旋转伺服机构能够调整旋转动板的角度；旋转动板上设置有升降伺服机构，升降动板搭设于升降伺服机构，升降伺服机构能够调整升降动板的平面度。该伺服调整系统，使用时，将升降动板或连同其上的光学部件一起搭设于升降伺服机构，从而，通过旋转伺服机构带动旋转动板转动可以调整光学部件的角度，通过升降伺服机构带动升降动板升降可以调整光学部件的平面度，即，使用该伺服调整系统，能够实现对光学部件的电动调平调焦，且取放十分便捷，降低了操作难度，提高了调平调焦的精度以及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 伺服 调整 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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