[发明专利]一种陶瓷材料加工方法在审
| 申请号： | 202210375546.X | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN116924812A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈星建;陈煌琳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/10;C04B35/622;C04B35/634;C04B41/87 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾艺璇;贾慧琴 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种陶瓷材料加工方法，包括：浸渍：将陶瓷坯体浸渍于液态聚碳硅烷前体中，使液态聚碳硅烷前体填充所述陶瓷坯体的缺陷；交联固化：使液态聚碳硅烷前体在所述缺陷内部受热分解，发生氧化交联反应。本发明获得的陶瓷材料内部缺陷少、热导率高、介电损耗低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷材料 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司，未经中微半导体设备（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210375546.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
