[发明专利]一种PBN坩埚维修装置及方法有效
| 申请号： | 202210445033.1 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114737245B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王金灵;刘火阳;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈志海 |
| 地址： | 511500 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PBN坩埚维修装置及方法。通过公开的PBN坩埚维修装置，能够根据不同直径的PBN坩埚调节支撑架的支撑直径大小，进而能够对不同直径的PBN坩埚的筒体部位的内壁进行修复，且在修复时，只需要使PBN坩埚套在PBN坩埚维修装置，并使PBN坩埚的筒体部位的内部与多个第一叶片的外侧贴合，然后固定PBN坩埚，使外部动力带动传动件转动，进而使贴于PBN坩埚维修装置的砂纸对PBN坩埚的筒体部位进行修复，本申请相较于现有人工修复方式，由于PBN坩埚维修装置转动时多个第一叶片同时PBN坩埚的筒体部位的内壁接触，因此，能够对整个PBN坩埚的筒体部位的内壁修复，因此，本发明通过PBN坩埚维修装置采用PBN坩埚维修方法的维修效率更高，且能有效提升修复质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pbn 坩埚 维修 装置 方法 | ||
【主权项】：
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