[发明专利]一种平整堆垛转移二维材料的方法在审
| 申请号： | 202210683738.7 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN116926497A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 高力波;袁国文;刘伟林;郑航;姚冰 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/01 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王艳 |
| 地址： | 210009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种平整堆垛转移二维材料的方法，本发明首先通过旋转和加热辅助相结合，再调控转移溶液对二维材料的浸润性，实现了晶圆级的二维材料到目标衬底上的无损、超平整的转移。同时，在实现单次转移超平整二维材料的基础上，重复上述的转移步骤，实现堆垛转移出了晶圆级、超平整的双层、多层的二维材料范德华同质和异质结构。本发明涉及的针对二维材料的平整堆垛转移技术操作简单，对规模化转移并获得晶圆级、高质量的二维材料范德华异质结提供了一种简单、有效的制备方案。此外，制备出的晶圆级、超平整的范德华同质和异质结构，也将对实现二维材料的新功能、新原理探索以及加快未来功能应用、推动社会进步，奠定材料制备技术上的支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平整 堆垛 转移 二维 材料 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210683738.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：封装结构
- 下一篇：跨平台会议系统串联方法和执行此方法的连接装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
