[发明专利]微量气体的配制方法有效
申请号: | 202210898861.0 | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115253883B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 王传福;王相文;姚显章;高天东 | 申请(专利权)人: | 大连大特气体有限公司 |
主分类号: | B01F35/80 | 分类号: | B01F35/80;B01F35/71;B01F23/10;G05D16/18 |
代理公司: | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人: | 周娇娇 |
地址: | 116036 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明实施例涉及微量气体配制技术领域,特别涉及一种微量气体的配置方法。其中,方法包括:利用待配制微量气体中的平衡气对待配制气瓶和整体管路进行冲洗,使得冲洗完成后待配制气瓶和整体管路为正压状态;根据待配制微量气体各组分气体的目标浓度,确定配制各组分气体时每一个组分气体所需充入的目标压力值;在待配制气瓶和整体管路为正压状态下,分别根据除平衡气以外的各组分气体对应的目标压力值对待配制气瓶进行对应组分气体的配制;根据配制平衡气所需的目标压力值和预先确定好的向待配制气瓶充入的初始平衡气质量,在待配制气瓶和整体管路为正压状态下,对待配制气瓶进行平衡气配制。本发明提供的技术方案可以提高微量气体的配制纯度。 | ||
搜索关键词: | 微量 气体 配制 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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