[发明专利]一种一步烧结高质量氮化铝原料的方法有效
| 申请号： | 202211039523.8 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115353082B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张雷;曹文豪;王国栋;王守志;俞娇仙;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C01B21/072 | 分类号： | C01B21/072;C30B35/00 |
| 代理公司： | 济南格源知识产权代理有限公司 37306 | 代理人： | 张蕾 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于氮化铝原料处理技术领域，尤其涉及一种一步烧结高质量氮化铝原料的方法，包括如下步骤：取氮化铝粉体原料装于坩埚内；将坩埚整体置于炉体内，抽真空后充入烧结气；梯度烧结；对炉体降温，取出坩埚。本发明通过采用分梯度烧结的方法，通过在不同温度下烧结不同时间步长，来达到一次烧结即可生成高质量氮化铝原料的目的。这种方法很大程度上提高了原料处理的效率，降低了烧料的物料成本和人工成本。并且采用一步法烧结出的原料有明显的晶型特征，能够直接用于后续AlN的晶体生长，与常规方法相比，不必进行反复烧结，能够快速高效的实现对原料的烧结和纯化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一步 烧结 质量 氮化 原料 方法 | ||
【主权项】：
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