[发明专利]具有辅助反应室的等离子体室在审
| 申请号： | 202280019113.9 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN116940411A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;J·J·雷哈根;具宰模 | 申请（专利权）人： | 雷卡邦股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 郑勇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种等离子体反应系统，包括等离子体室和辅助反应室。等离子体室包括用于将反应气体引入等离子体室的等离子体室入口、形成内部空间的等离子体室壁、在等离子体室内产生的等离子体、用于将能量导向在等离子体室内产生的等离子体的波导件、以及用于从等离子体室运送第一出口气体的等离子体室出口，其中反应气体之间的化学反应可以在该内部空间中发生。辅助反应室包括配置成从等离子体室获得第一出口气体的辅助反应室入口、形成辅助反应室的内部空间的辅助反应室壁、以及用于从辅助反应室运送第二出口气体的辅助反应室出口，其中出口气体之间的第二化学反应可以在该内部空间中发生。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 辅助 反应 等离子体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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