[发明专利]高精密基板研磨系统在审
| 申请号： | 202310208966.3 | 申请日： | 2023-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN116922260A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 梁起赫;禹相政 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/015;B24B37/013;B24B37/005;B24B49/12;H01L21/67;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 根据一个实施例的基板研磨装置，可包括：台板，其用于安放研磨垫，并且可旋转；基板载体，其抓握基板，并且可在台板的上侧旋转；红外线传感器，其位于台板的内部，并对基板的温度进行测量；以及控制部，其利用红外线传感器的测量值来判断基板的研磨状态。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 研磨 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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