[发明专利]检测方法、装置及设备有效
| 申请号： | 202310506229.1 | 申请日： | 2023-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN116243132B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨杰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李兴福;臧建明 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供了一种检测方法、装置及设备，涉及半导体技术领域，上述方法应用于半导体器件，该半导体器件的源极、漏极以及衬底均接地，栅极与预设的扫描电压源连接；上述方法包括：按照预设扫描参数，控制扫描电压源在栅极施加一扫描电压；在扫描电压从第一电压值变化至第二电压值的过程中，实时检测流经栅极的栅极电流；当检测到栅极电流在预设时长内保持第一电流值不变时，将栅极电流在首次等于第一电流值时扫描电压的电压值，确定为半导体器件的界面态陷阱电荷饱和时的栅极电压，在后续采用电荷泵测量技术测量半导体器件的界面态信息时，可以将该栅极电压作为在栅极施加的脉冲电压的最大电压值，由此可以提升界面态信息的测量准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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