[发明专利]半导体智能仓储存取光罩盒的方法在审
| 申请号： | 202310686824.8 | 申请日： | 2023-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN116923949A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 沙伟中 | 申请（专利权）人： | 苏州艾斯达克智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/137 | 分类号： | B65G1/137;B65G17/12;B65G1/04;B65G47/91;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海坤元知识产权代理有限公司 31376 | 代理人： | 姜晓钰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州高新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种半导体智能仓储存取光罩盒的方法，所述的智能仓储包括：仓储体，用于存放存储半导体晶圆片的光罩盒；所述的仓储体的一侧设置有光罩盒移送循环装置用于对光罩盒进行循环移送；所述的仓储体内的一端设置有光罩盒横向中转机构；所述仓储体内设置有光罩盒取料装置将移送至光罩盒横向中转机构上的光罩盒送入仓储体内，所述光罩盒取料装置将光罩盒送入仓储体的存储光罩盒的光罩盒支架上。通过本智能仓储能够实现对光罩盒在仓储体外的循环存储功能，避免人工对光罩盒的反复搬运，通过取料机构在垂直方向的调节和吸取，增加了对光罩盒取料装置的移动范围和精度。整体提升对光罩盒存取的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 智能 仓储 存取 光罩盒 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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