[发明专利]一种发热膜蚀刻工装在审
| 申请号： | 202310698283.0 | 申请日： | 2023-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN116926545A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 周瑞平;陈森;周爱东 | 申请（专利权）人： | 江苏佰元鸿金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H05B3/34 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理有限公司 11624 | 代理人： | 武雅静 |
| 地址： | 224000 江苏省盐城市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种发热膜蚀刻工装，包括基座，基座上设有旋转机构，基座的上方通过旋转机构活动安装有转盘，转盘上固定安装有多个均匀设置的工装台，工装台的顶部设有用于对待加工的发热膜进行放置的放置槽；放置槽的底侧设有用于对发热膜底侧进行固定的第一固定机构。本发明不仅能够对发热膜的底侧进行固定，还能够对发热膜的侧边进行固定，进而能够确保发热膜固定的非常牢靠，有利于保障发热膜在后续蚀刻加工中的稳定性，避免以往的发热膜由于都缺少有效的固定而容易造成发热膜在蚀刻加工中发生偏移的情形出现，使得蚀刻加工中发热膜的稳固性更好，有利于保证加工后的精度及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发热 蚀刻 工装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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