[发明专利]一种酸性清洗液在审
| 申请号： | 202310795372.7 | 申请日： | 2023-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN116925854A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王溯;马丽;刘松;张磊磊;梁业成 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/22 | 分类号： | C11D1/22;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/34;C11D3/60 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 蒲小秋;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种酸性清洗液。本发明的酸性清洗液的原料包括下列质量分数的组分：0.1‑4％有机胺、0.1‑9％酸、氟化物、缓蚀剂、螯合剂、表面活性剂和水，水补足余量，各组分质量分数之和为100％；所述的表面活性剂为磺酸盐类阴离子表面活性剂；所述的酸与所述的有机胺的质量比为(1‑3):1。本发明的酸性清洗液具有如下的一个或多个优点：具有较好的清洗效果，可以抑制半导体晶圆的损伤，具有较好的BTA清除效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新阳半导体材料股份有限公司，未经上海新阳半导体材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310795372.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种船舶艏部强框设计方法和船舶
- 下一篇：工业大数据沙箱系统及工业大数据系统
