[发明专利]一种层状结构、制备方法及传感器件在审
| 申请号： | 202310821632.3 | 申请日： | 2023-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN116924321A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 涂敏;唐振元 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01N27/12;G01N27/407;G01N27/18;B81B1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄盼 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种层状结构、制备方法及传感器件，包括提供基底；在基底的表面施加惰性材料，形成惰性薄膜；对惰性薄膜进行图案化处理，得到图案化掩膜；在基底具有图案化掩膜的一面施加目标材料，形成目标材料层；所述惰性材料与所述目标材料之间存在化学惰性；机械剥离图案化掩膜，以去除图案化掩膜和目标材料层中与图案化掩膜对应的图案化区域，在基底上形成图案化功能层，得到层状结构。本申请在基底具有图案化掩膜的一面施加目标材料再机械剥离图案化掩膜，图案化掩膜采用的惰性材料与目标材料之间存在化学惰性，在机械剥离图案化掩膜过程中不会污染或腐蚀目标材料，使目标材料稳定可靠地集成于基底上，提升制备层状结构的制备精度和一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 层状 结构 制备 方法 传感 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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