[发明专利]一种环形靶材加工方法在审

专利信息
申请号: 202310860173.X 申请日: 2023-07-13
公开(公告)号: CN116922000A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;袁锦泽;陈玉蓉 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23P15/00 分类号: B23P15/00;B23K37/04
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 姜荣丽
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及靶材加工技术领域,具体公开了一种环形靶材加工方法,包括以下步骤:对实心靶坯进行加工,以形成内外侧具有台阶的环形靶坯;将环形靶坯具有台阶的一端焊接于背板上,以形成靶材组件;通过多个平口钳夹持靶材组件,以对背板焊接环形靶坯的一面进行加工以形成台阶面;通过多个平口钳夹持靶材组件,以对背板背离环形靶坯的一面进行精加工。本发明先对实心靶坯进行加工,再将实心靶坯焊接于背板上,能够防止靶材组件在加工时出现变形,并导致环形靶坯与背板脱焊的情况;采用多个平口钳对靶材组件进行夹持,能够分散并减小单个平口钳的夹持力度,最大限度减小因夹持所造成的变形,防止因外力整平过程中,环形靶坯与背板脱焊。
搜索关键词: 一种 环形 加工 方法
【主权项】:
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