[发明专利]一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统在审
| 申请号： | 202310880983.1 | 申请日： | 2023-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN116929203A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 马冬林;赵浩宇;徐智谋 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 武汉派富知识产权代理事务所(普通合伙) 42305 | 代理人： | 刘艳丽 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统。本发明包含激光发射单元、第一传输光纤、光环形器、第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组，激光发射单元发射波长范围为400nm～500nm的第一方向蓝光，经过第一传输光纤，输入到光环形器的第一输入光口；光环形器的第二双向光口输出后，依次经过第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组照射到被测物表面；被测物表面反射光沿第二方向经过大数值孔径聚焦透镜组在干涉端面处与第一方向蓝光形成干涉，干涉光信号经过第二传输光纤、光环形器的第三输出光口到达激光接收单元，实现对干涉光信号的光电转换和解析。该发明使用蓝光干涉扫描和相位生成载波技术，具有扫描速度快，横向和法向扫描精度高的特点。主要用于微结构和微纳光学元件测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 干涉 扫描 探头 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学;深圳华中科技大学研究院，未经华中科技大学;深圳华中科技大学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310880983.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
