[发明专利]一种数字信号IO接口扩展系统、方法及应用在审
申请号: | 202310892686.9 | 申请日: | 2023-07-20 |
公开(公告)号: | CN116931484A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 乔如玉 | 申请(专利权)人: | 安徽超元半导体有限公司 |
主分类号: | G05B19/042 | 分类号: | G05B19/042;G01R1/28;G01R31/26;H01L21/66;G06F13/42 |
代理公司: | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人: | 李小明 |
地址: | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明揭示了一种数字信号IO接口扩展系统、方法及应用,该系统包括主控芯片、电源模块、输入模块以及输出模块;输入模块用于实时采集晶圆检测设备单个通道的IO信号,并将IO信号传输至主控芯片;主控芯片对来自输入模块的IO信号进行分析处理,并同步推送IO信号至输出模块;输出模块用于将晶圆检测设备单个通道的IO信号进行多通道同步输出;电源模块用于提供电源电压,并实时监控电源模块的输出电压值。本发明通过输入模块实时抓取晶圆监测设备的逻辑状态,并在主控芯片内部处理后同步推送相同的逻辑信号在输出模块进行输出,实现了单一通路的多倍扩展,进而提高了晶圆测试的同测数,从而使得整片晶圆的整体测试效率大大提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 数字信号 io 接口 扩展 系统 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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