[发明专利]一种LED芯片制备方法、LED芯片在审
| 申请号： | 202310915470.X | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116936694A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 周志兵;张星星;林潇雄;胡加辉;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/14;H01L33/42 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 万建 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一LED芯片制备方法、LED芯片，提供一包含电流阻挡层的半成品芯片，利用电子束蒸镀方式在电流阻挡层上制备ITO膜层，将半成品芯片浸入酸性溶液中，以使酸性溶液透过ITO膜层对电流阻挡层进行侵蚀，采用电子束蒸镀的方式制备ITO膜层的方式，此方式制备的ITO膜层相较磁控溅射获取的膜层在未退火之前更加疏松，正因为ITO膜层在未退火之前致密性较差，因此可依靠未退火ITO膜层疏松特性，在电流阻挡层上方镀ITO膜层，使其浸泡在HF溶液中，通过疏松膜层的扩散作用，HF酸渗透ITO膜层刻蚀底部电流阻挡层，刻蚀效果为多孔结构，从而达到电流阻挡层层表面的粗化目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西兆驰半导体有限公司，未经江西兆驰半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310915470.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光伏发电量在线检测装置
- 下一篇：一种水电安装用可调节角度的切割器
