[发明专利]一种便于调节生长温度的微波反应装置在审
| 申请号： | 202310916192.X | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116926666A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冀成相;李再强;廖佳 | 申请（专利权）人： | 北京左文科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B29/04;C30B30/00 |
| 代理公司： | 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44324 | 代理人： | 刘文治 |
| 地址： | 100055 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十三街29*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种便于调节生长温度的微波反应装置，属于晶体生长设备领域。包括有微波谐振腔体，微波谐振腔体内设置有生长台，生长台上方设置有生长基台，生长台上连接有冷却机构，生长基台上连接有升降机构。升降机构能够控制生长基台深入等离子体的深度和并调节生长基台与具有冷却机构的生长台本体的间距，进而实现生长基台上的金刚石籽晶获取的等离子体能量以及散热速度的调节，达到金刚石籽晶生长温度的精确控制；同时，升降机构的连接杆通过真空管、压缩密封件实现真空密封，并通过波纹管进行伸缩缓冲，既能够保证生长基台的真空环境，又能够升降机构的结构稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 调节 生长 温度 微波 反应 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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