[发明专利]一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备在审
| 申请号： | 202310968516.4 | 申请日： | 2023-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN116926478A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邵淋锋;俞晓瑜;陈鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 南通海美电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309 | 代理人： | 郝宪宵 |
| 地址： | 226300 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，涉及电容器镀膜加工领域，包括蒸镀箱和托盘，所述托盘的密封固定有一处蒸镀箱，蒸镀箱的内部滑动安装有一处密封板；所述托盘的顶端位于蒸镀箱的内部开设有一处金属蒸汽布洒槽，且托盘的内部贯穿开设有一处呈左右方向布置的插槽；所述蒸镀箱的左侧壁上固定安装有一处真空泵，在蒸镀加工前后可将密封板下滑抵靠于金属蒸汽布洒槽上对金属蒸汽布洒槽实施密封，这可将插槽的左右两端开口间接封堵，避免蒸镀箱的内部空间通过插槽的左右两端开口与外部环境形成通路，防止在对电容器外壳原料板上下料时，外部空气通过插槽被快速的吸入蒸镀箱中破坏其内部的真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电容器 工用 金属 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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