[发明专利]一种异型碱金属原子气室结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202310983349.0 | 申请日： | 2023-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN116930624A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵锐;刘俊;唐军;马宗敏;石云波;李中豪;郑健;冯萌阳 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了一种异型碱金属原子气室结构及其制备方法，涉及量子传感技术领域。本发明面向新型量子仪表对敏感表头的小体积、高集成度的实况需求，发明了一种高性能晶圆级异型碱金属气室阵列和真空封装技术，以原子气室工作条件和微纳加工技术为理论和技术基础，设计和优化高性能异型碱金属原子气室结构，提出高真空度的全玻璃碱金属原子气室工艺制备方法，全玻璃封装的原子气室能够保证光束的工作正交，同时本腔室平面窗口与常规腔室弧形窗口相比不易使光束的偏振变化，且平坦的表面和确定的气室尺寸便于与原子传感器集成，便于实现微小型，高稳定性碱金属原子气室批量化制备，解决原子传感器集成化发展的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异型 碱金属 原子 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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