[发明专利]一种显示面板类半导体生产用物理气相沉积装置在审
| 申请号： | 202311175844.5 | 申请日： | 2023-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN116936420A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 周磊;丁媛;窦沛静 | 申请（专利权）人： | 明德润和机械制造（天津）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/04;B08B1/04;C23C14/02;C23C14/24 |
| 代理公司： | 合肥初云专利代理事务所(普通合伙) 34273 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 300000 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种显示面板类半导体生产用物理气相沉积装置，包括清洗池，所述清洗池的顶部固定连接有顶板，所述顶板的底部通过驱动轴安装有可正反转动的转盘，所述转盘的周向上设有多个安装口，每三个安装口为一组，一组的三个所述安装口内分别弹性安装有可上下移动的清洗座、物理气相沉积装置底座和装料网盘，所述清洗池的内底部固定安装有多根竖直设置的第一气缸，每组安装口对应一根第一气缸，所述第一气缸的伸缩端固定连接有用于推动清洗座、物理气相沉积装置底座以及装料网盘内半导体芯片上移的推板。该装置能够实现半导体芯片在物理气相沉积前的清洗过程，也能够实现自动化上下料过程，并且也可实现多个石英罩的自动化清洗过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 半导体 生产 物理 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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