[发明专利]电池正背面同时生长不同厚度多晶硅的方法和背接触电池在审
申请号: | 202311183441.5 | 申请日: | 2023-09-14 |
公开(公告)号: | CN116936684A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 林楷睿 | 申请(专利权)人: | 金阳(泉州)新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0745 |
代理公司: | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人: | 赵亚楠 |
地址: | 362000 福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明属于背接触电池制备技术领域,具体涉及电池正背面同时生长不同厚度多晶硅的方法和背接触电池,方法包括:S1、提供背面抛光正面制绒的硅片;S2、控制硅片成对间隔设置且正面面对面设置,成对硅片的正面之间的间距为S1,前一成对硅片的背面与相邻的后一成对硅片的背面之间的间距为S2;在硅片的正面和背面同时形成隧穿氧化层、同时形成本征多晶硅,在正面形成第一本征多晶硅且厚度为L1,在背面形成厚度L2第二本征多晶硅,[S1/(2×S2)]+0.1≤L1/L2≤[S1/(2×S2)]+0.3;S3、采用扩散退火工艺掺杂;S4、清洗。本发明能够实现双面不同厚度多晶硅的同时生长,同时提高导电性和电池转换效率。 | ||
搜索关键词: | 电池 背面 同时 生长 不同 厚度 多晶 方法 接触 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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