[发明专利]一种常压微波等离子体双波导耦合装置在审
| 申请号： | 202311189309.5 | 申请日： | 2023-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN116936329A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邓泉荣;陈子乙;童维军;黄巍;程川盟;谢欢;王奕博;朱青美;文志远 | 申请（专利权）人： | 武汉市飞瓴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C03B37/018;H01P7/06;H01P1/30;H01P5/12;H05H1/24 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 范三霞 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区软件园东路1*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种常压微波等离子体双波导耦合装置，包括上下两路平行的波导耦合子模块和冷却水循环系统，每一路波导耦合子模块包括电源、磁控管、环形器、波导、微波谐振腔、放电石英管和反射板。本发明主要针对单路波导传输功率有限，等离子体电离能力较弱，无法形成高能量和高密度等离子体的问题，采用两路微波谐振腔进行耦合，输出功率可以达到原来的两倍，同时上谐振腔采用与压缩波导连接的形式，大大提高了上部分电磁场的能量密度，使得等离子体电离能力明显增强，显著提高了等离子体活性粒子含量，所述装置可在常压条件下一步法直接制备光纤预制棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 常压 微波 等离子体 波导 耦合 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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